UHV - Hochfrequenz - Durchführung

Diese UHV-Durchführung wurde von STS neu konstruiert, weil her­kömm­liche Vakuum­durch­füh­run­gen bei den hohen Blind­strömen, die bei der Induk­tions­erwär­mung üblich sind, so grosse Verluste durch An­kopp­lung verur­sachen, dass sie wasser­ge­kühlt werden müssen. Diese Verluste sind im Interesse eines hohen Pro­zess­wir­kungs­grades nicht zu ver­treten.

UHV-Hochfrequenzdurchführung

Die von STS konstruierte neuartige Durchführung zeichnet sich in er­ster Linie durch eine geringe An­kopp­lung und damit durch eine kaum be­merk­bare Erwär­mung aus. Der Grund liegt in der aus­schliess­lichen Ver­wen­dung von nicht­mag­neti­schen, hoch­leit­fähigen Materi­alien. Die Durch­führung besteht aus einem Edel­stahl­flansch der Qualität 1.4306, in den eine Über­gangs­hülse aus dem glei­chen Mate­rial einge­schweisst ist. Der Flansch wird von STS kunden­spezifisch gefer­tigt.

Die Über­gangs­hülse ist mit dem Aussen­rohr der koaxial aufge­bauten Durch­führung hart ver­lötet. Der Iso­lator zwischen dem Aussen­rohr und den wasser­gekühl­ten Induktor­zulei­tungen besteht aus einer dicht­gesin­ter­ten Al2O3 Scheibe, das Aussen­rohr und die In­duk­tor­zu­lei­tun­gen aus OFHC-Kupfer.

Alle Verbindungen zwischen Metall und Keramik sind UHV-taug­lich hart­ge­lötet und können bis 350° C aus­ge­heizt wer­den. STS - UHV - Durch­füh­rungen sind vom Her­steller bis 10-9 mbar·l/s Helium leck­ge­testet.

Eine Montage in Flansche ab NW50 ist möglich, da der Aussen­durch­messer der Durch­führung nur 44 mm beträgt. Die Induk­tor­zulei­tungen haben einen Aussen­durch­messer von 8mm. Der Mitten­ab­stand beträgt nur 12 mm, woraus eine besonders geringe Zu­leitungs­induk­tivi­tät resultiert.

Die von STS entwickelten HF-Durchführungen wurden von der amerika­nischen IML-2 und der deutschen D2 Mission für material­wissen­schaft­liche Experi­mente im Welt­raum verwendet. Die Durch­füh­rungen sind auch Bestand­teil der von STS ent­wickel­ten Iso­frequenz - Schwebe­schmelz - Anlagen SSA263 und SSA463.

 


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