UHV - Hochfrequenz - Durchführung

Diese UHV-Durchführung wurde von STS neu konstruiert, weil herkömmliche Vakuum­durchführungen bei den hohen Blindströmen, die bei der Induktionserwärmung üblich sind, so grosse Verluste durch Ankopplung verursachen, dass sie wassergekühlt werden müssen.

Diese Verluste sind im Interesse eines hohen Prozesswirkungsgrades nicht zu vertreten.

Die von STS konstruierte neuartige Durchführung zeichnet sich in erster Linie durch eine geringe Ankopplung und damit durch eine kaum bemerkbare Erwärmung aus. Der Grund liegt in der ausschliesslichen Verwendung von nichtmagnetischen, hochleitfähigen Materialien. Die Durchführung besteht aus einem Edelstahlflansch der Qualität 1.4306, in den eine Übergangshülse aus dem gleichen Material eingeschweisst ist. Der Flansch wird von STS kundenspezifisch gefertigt.

UHV-Hochfrequenzdurchführung

Die Übergangshülse ist mit dem Aussenrohr der koaxial aufgebauten Durchführung hart verlötet. Der Isolator zwischen dem Aussenrohr und den wassergekühlten Induktorzuleitungen besteht aus einer dichtgesinterten Al2O3 Scheibe, das Aussenrohr und die Induktor­zuleitungen aus OFHC-Kupfer.

Alle Verbindungen zwischen Metall und Keramik sind UHV-tauglich hartgelötet und können bis 350° C ausgeheizt werden.

Die STS - UHV - Durchführungen sind vom Hersteller bis 10-9 mbar·l/s Helium leckgetestet.

Eine Montage in Flansche ab NW50 ist möglich, da der Aussendurchmesser der Durchführung nur 44mm beträgt. Die Induktorzuleitungen haben einen Aussendurchmesser von 8mm. Der Mittenabstand beträgt nur 12mm, woraus eine besonders geringe Zuleitungsinduktivität resultiert.

Die von STS entwickelten HF-Durchführungen wurden von der amerikanischen IML-2 und der deutschen D2 Mission für materalwissenschaftliche Experimente im Weltraum verwendet. Die Durchführungen sind auch Bestandteil der von STS entwickelten Isofrequenz - Schwebeschmelz - Anlagen SSA263 und SSA463.

 


Copyright ©2013 STS Systemtechnik Skorna GmbH - Induktionserwärmung - Web Designer: Helmut Stober - All Rights Reserved